近日，半導(dǎo)體真空裝備制造商浙江生波智能裝備有限公司（以下簡稱“生波智能”）宣布完成億元JA輪融資，由國芯創(chuàng)投L投，派諾資本及產(chǎn)業(yè)資方跟投。

本輪融資將用于半導(dǎo)體先進工藝制程設(shè)備的研發(fā)、安徽滁州明光“半導(dǎo)體大型真空鍍膜設(shè)備項目”制造基地建設(shè)、擴充企業(yè)產(chǎn)能等，并進一步保持及增強“生波智能”在半導(dǎo)體及光電顯示行業(yè)的技術(shù)優(yōu)勢。

生波智能及其前身公司已有超過10年發(fā)展歷史，由G文波、李朝暉等一批從事半導(dǎo)體、光電顯示L域真空鍍膜技術(shù)和工藝以及相關(guān)核心設(shè)備研發(fā)的行業(yè)L軍人共同創(chuàng)立。

目前，公司在等離子體源、PECVD源、PVD源等多種核心源部件擁有自主研發(fā)、制造能力，可以替代美國應(yīng)用材料、日本愛發(fā)科、德國馮·阿登納等海外巨頭的部分同類產(chǎn)品。公司通過中G端設(shè)備的研發(fā)及專項設(shè)備的定制，為客戶提供新工藝開發(fā)、新裝備研制、大規(guī)模量產(chǎn)型生產(chǎn)線制造與交付以及長期技術(shù)支持、維保等全方面、一體化地解決方案。

生波智能產(chǎn)品體系豐富，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、平板顯示、航天科技、深空探測、新材料封裝等L域。據(jù)介紹，在航天科技L域，生波智能是國內(nèi)一家突破海外技術(shù)封鎖，為空間站表面有機材料提供航空J(rèn)防護鍍膜設(shè)備的企業(yè)。 產(chǎn)業(yè)布局方面，生波智能已擁有海寧、中山、深圳、洛陽四大研發(fā)和生產(chǎn)基地，形成華北、華東、華南三角形布局網(wǎng)絡(luò)。

業(yè)務(wù)方面，與航天部五院、士蘭微電子、京東方、天馬、維信諾、萊寶G科、長信科技、新創(chuàng)元等半導(dǎo)體、光電顯示、電子電路、航空航天等L域知名客戶達成戰(zhàn)略合作。其中，與國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備龍頭企業(yè)北方華創(chuàng)聯(lián)合研發(fā)多款半導(dǎo)體用PECVD設(shè)備，逐步打破歐美在G端裝備L域的封鎖格局。

生波智能表示，本輪融資之后，生波智能將在集成電路和泛半導(dǎo)體裝備L域持續(xù)發(fā)力，集成電路裝備面向邏輯、存儲、功率、先進封裝等多L域拓展，PVD、PECVD、PTFE等多款新產(chǎn)品進入主流客戶，并在“突破卡脖子、推進國產(chǎn)化”的道路上繼續(xù)前行。